发明名称 |
一种纳米柱结构有机场效应晶体管存储器及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种纳米柱结构有机场效应晶体管存储器及其制备方法,涉及半导体行业存储器技术和生物薄膜技术领域。所述纳米柱结构有机场效应晶体管存储器包括源漏电极、有机半导体层、第二类栅绝缘层、第一类栅绝缘层、栅电极以及衬底,所述有机半导体层与第二类栅绝缘层之间设有纳米柱薄膜层。本发明的有益效果是,通过简单的旋涂工艺制备形貌可控的纳米柱薄膜且改进了器件的存储性能,使其存储容量、存储速度、存储稳定性及其反复擦写可靠性能得到很大提升,并且降低了器件制备成本,具有很大的商业应用价值。 |
申请公布号 |
CN106098942A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610622661.7 |
申请日期 |
2016.07.29 |
申请人 |
南京邮电大学 |
发明人 |
仪明东;郭丰宁;解令海;李雯;凌海峰;徐姣姣;黄维 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01)I;H01L51/30(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01)I |
代理机构 |
南京知识律师事务所 32207 |
代理人 |
李湘群 |
主权项 |
一种纳米柱结构有机场效应晶体管存储器,包括源漏电极、有机半导体层、第二类栅绝缘层、第一类栅绝缘层、栅电极以及衬底,其特征在于,所述有机半导体层与第二类栅绝缘层之间还设有纳米柱薄膜层。 |
地址 |
210023 江苏省南京市栖霞区文苑路9号 |