| 摘要 |
[과제] 유기막의 성막 레이트 제어 및 막후 측정을 고정밀도로 실시하는 것이 가능한 성막 장치, 유기막의 막후 측정 방법 및 유기막용 막후 센서를 제공한다. [해결 수단] 성막 장치(10)는 진공 챔버(11), 유기 재료원(12), 기판 홀더(13), 막후 센서(14), 측정 유닛(17)을 구비한다. 유기 재료원(12)은 진공 챔버(11)의 내부에 배치되고, 유기 재료 입자를 방출하는 것이 가능하도록 구성된다. 기판 홀더(13)는 유기 재료원(12)에 대향해서 배치되고, 기판 W를 보지하는 것이 가능하도록 구성된다. 막후 센서(14)는 진공 챔버(11)의 내부에 배치되고, 4 MHz 이하의 기본 주파수를 가지는 수정 진동자를 가진다. 측정 유닛(17)은 상기 수정 진동자의 공진 주파수의 변화에 근거하여, 기판 홀더(13) 상의 기판 W에 퇴적된 유기막의 막후를 측정한다. |
