摘要 |
Sensorvorrichtung zum Erfassen von NH3 in einer Gasprobe, wobei die Sensorvorrichtung ein Sensorelement umfasst, das Folgendes umfasst: einen ersten Bereich, umfassend ein p-leitendes Metalloxidhalbleitermaterial (MOS-Material), das NiO umfasst; und einen zweiten Bereich, umfassend ein n-leitendes MOS-Material, das In2O3 umfasst; wobei der erste Bereich an den zweiten Bereich angrenzt und diesen berührt. |