发明名称 一种抛光机的水冷下抛光盘结构
摘要 本发明公开了一种抛光机的水冷下抛光盘结构,包括下盘工作盘,所述下盘工作盘的下方设有水冷盘,所述水冷盘与所述下盘工作盘之间设有冷却腔,所述水冷盘上设有进水口和出水口,所述水冷盘上设有扇形冷却腔,所述扇形冷却腔内设有分流筋。本发明采用特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠;结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统,实现了抛盘温度的精密控制。
申请公布号 CN106064350A 申请公布日期 2016.11.02
申请号 CN201610601957.0 申请日期 2016.07.28
申请人 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 发明人 乔卫民;翟新;李方俊;马艳
分类号 B24B55/02(2006.01)I;B24B41/047(2006.01)I 主分类号 B24B55/02(2006.01)I
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人 曹毅
主权项 一种抛光机的水冷下抛光盘结构,其特征在于,包括下盘工作盘(3),所述下盘工作盘(3)的下方设有水冷盘(1),所述水冷盘(1)与所述下盘工作盘(3)之间设有冷却腔(4),所述水冷盘(1)上设有进水口(6)和出水口(8),所述水冷盘(1)上设有扇形冷却腔(7),所述扇形冷却腔(7)内设有分流筋(9)。
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