发明名称 Verfahren zur Tiefenbestimmung
摘要 Es wird ein Verfahren zur Tiefenbestimmung eines Objektes (10) vorgeschlagen, das die folgenden Schritte umfasst: – Bereitstellen einer Erfassungsvorrichtung (2), einer Rechenvorrichtung (3) und einer Projektionsvorrichtung (4), die wenigstens eine erste kohärente Lichtquelle (41) umfasst; – Erzeugung eines Messstrahls (101) und eines Referenzstrahls (102) mittels der Projektionsvorrichtung (4) und der ersten kohärenten Lichtquelle (41); – Projektion eines aus dem Messstrahl (101) erzeugten optischen Musters (104) auf eine Oberfläche des Objektes (10) mittels der Projektionsvorrichtung (4); – Überlagerung (111) des von der Oberfläche reflektierten Messstrahls (105) mit dem Referenzstrahl (102); – Aufnahme eines durch die Überlagerung (111) erzeugten ersten Abbildes (610) mittels der Erfassungsvorrichtung (2); – Aufnahme eines zweiten Abbildes (620) mittels der Erfassungsvorrichtung (2); und – Tiefenbestimmung des Objektes mittels einer Auswertung des ersten und zweiten Abbildes (610, 620) durch die Rechenvorrichtung (3), wobei für die Aufnahme des zweiten Abbildes (620): – anstatt der ersten kohärenten Lichtquelle (41) eine zu dieser inkohärente zweite kohärente Lichtquelle (42) zur Erzeugung des Messstrahls (101) und des Referenzstrahls (102) verwendet wird; oder – die Phasendifferenz zwischen dem Messstrahl (101) und dem Referenzstrahl (102) der ersten kohärenten Lichtquelle (41) mittels eines Phasenschiebers (8) geändert wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung (1) zur Durchführung des Verfahrens.
申请公布号 DE102015207328(A1) 申请公布日期 2016.10.27
申请号 DE201510207328 申请日期 2015.04.22
申请人 Siemens Aktiengesellschaft 发明人 Schick, Anton
分类号 G01B11/25;G01B9/02 主分类号 G01B11/25
代理机构 代理人
主权项
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