Mikromechanische Struktur für einen Beschleunigungssensor

摘要

Mikromechanische Struktur (100) für einen Beschleunigungssensor, aufweisend: – eine seismische Masse (20), die mittels eines zentralen Anbindungselements (13) an ein Substrat (10) angebunden ist; – eine definierte Anzahl von auf dem Substrat (10) angeordneten Elektroden (11a, 12a); wobei – bezogen auf eine Sensierachse beidseitig am Anbindungselement (13) jeweils ein Federelement (21) angeordnet ist.