一种新型闭合式壳型电极硅探测器

摘要

一种新型闭合式壳型电极硅探测器，由一空心六棱环，空心十二棱环，及一电极空心柱构成，所述空心十二棱环嵌套于空心六棱环内，电极空心柱与所述空心六棱环及空心十二棱环的中心轴线相同，所述空心十二棱环、空心六棱环为重掺杂n+(或p+)型硅的空心十二棱环、空心六棱环；电极空心柱为重掺杂p+(或n+)型硅的电极空心柱；所述空心十二棱环底部与空心六棱环平齐，顶部低于空心六棱环，空心十二棱环、空心六棱环及电极空心柱之间的区域为P型(或N型)硅填充实体区，所述新型闭合式壳型电极硅探测器的顶面设置有电极接触层，底面设置有二氧化硅保护层。本实用新型优化了结构类型，消除了死区，工作时，粒子也可以双面入射,反应更为灵敏。

主权项

一种新型闭合式壳型电极硅探测器，其特征在于，由一空心六棱环(1)，空心十二棱环(3)，及一中央电极空心柱(2)构成，所述空心十二棱环(3)嵌套于空心六棱环(1)内，中央电极空心柱(2)与所述空心六棱环(1)及空心十二棱环(3)的中心轴线相同，所述空心十二棱环(3)、空心六棱环(1)为重掺杂n+或p+型硅的空心十二棱环(3)、空心六棱环(1)；中央电极空心柱(2)为重掺杂p+或n+型硅的中央电极空心柱(2)；所述空心十二棱环(3)底部与空心六棱环(1)平齐，顶部低于空心六棱环(1)，空心十二棱环(3)、空心六棱环(1)及中央电极空心柱(2)之间的区域为P型或N型硅填充实体区(6)，所述新型闭合式壳型电极硅探测器的顶面设置有电极接触层(4)，底面设置有二氧化硅保护层(5)。