| 发明名称 | 一种空气刀系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。本实用新型有益效果是：真空吸液装置和空气刀配合及时吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体，避免水渍残留，保证空气刀对基板表面作用力的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN205664639U | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201620525505.4 | 申请日期 | 2016.05.27 |
| 申请人 | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 钱娟娟;马超;黄胜;徐海涛;刘超;王守波;欧阳欠;林杰 |
| 分类号 | F26B21/00(2006.01)I | 主分类号 | F26B21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，其特征在于，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。 | ||
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 | ||