发明名称 |
通过高沸点的氯硅烷或含氯硅烷的混合物制备氯硅烷的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种制备通式H<sub>4‑n</sub>SiCl<sub>n</sub>的氯硅烷的方法,其中n=1、2、3和/或4,其特征在于,在反应器中,硅床中的硅与Cl<sub>2</sub>或HCl和至少一种含硅的化合物进行反应。 |
申请公布号 |
CN103517874B |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
申请号 |
CN201280018504.5 |
申请日期 |
2012.02.28 |
申请人 |
赢创德固赛有限公司 |
发明人 |
E·米;H·劳莱德;R·肖尔克 |
分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
石克虎;林森 |
主权项 |
制备通式H<sub>4‑n</sub>SiCl<sub>n</sub>的氯硅烷的方法,其中n = 1、2、3和/或4,其特征在于,在至少一个含硅的反应器中,具有至少96 %Si含量的硅床中的硅与Cl<sub>2</sub>或HCl和至少一种含硅的化合物进行反应,其中使用固定床反应器,其中反应器调节到反应器中心的温度为800 °C至1300 °C,其中根据上述方法制得的氯硅烷处于与高沸物一起形成的混合物中,含有:10至20重量% HSiCl<sub>3</sub>或80至90%重量% SiCl<sub>4</sub>和0.1至3重量%二氯硅烷,和0.1至3重量%高沸物。 |
地址 |
德国埃森 |