废气的净化方法和净化设备

摘要

本发明涉及废气的净化方法和净化设备。更具体地，本发明涉及废气的净化方法和净化设备，其能够降低氯化氢的浓度以及从所述废气中分离高纯氢气，其中所述废气为进行通过化学气相沉积反应的多晶硅沉积过程之后所排出的。

主权项

一种废气的净化方法，其包括以下步骤：使所述废气经过包含离子交换树脂催化剂的催化反应器以降低氯化氢的浓度，其中所述废气为进行通过化学气相沉积(CVD)反应的多晶硅沉积过程之后所排出的；以及使所述废气经过所述催化反应器，然后分离经过的废气中包含的氢气和基于氯硅烷的化合物。