具有用于对称传导和RF传输的垂直支撑杆的室

摘要

本发明涉及一种具有用于对称传导和RF传输的垂直支撑杆的室。提供了一种等离子体室来增加等离子体室内的传导和增加传导的均匀性。用于供应功率给等离子体室的射频路径是相对于等离子体室的中心轴对称的。此外，用于从等离子体室去除材料的泵相对于所述中心轴对称地定位。射频路径和泵的对称布置有利于增加等离子体内的传导均匀性。

主权项

一种用于增强等离子体室内传导均匀性的系统，其包括：侧壁；卡盘支撑柱；下部电极，其位于由所述侧壁包围的外壳内，其中所述下部电极是由所述卡盘支撑柱支撑；以及过渡凸缘，其位于所述侧壁的下方并且与所述侧壁相邻，其中所述过渡凸缘包括开口，其中所述过渡凸缘的开口以相对于所述下部电极同轴的方式定位，使得所述卡盘支撑柱经由所述过渡凸缘的开口穿过并且降低对于在所述等离子体室内剩余材料从所述下部电极到所述过渡凸缘内形成的一个或一个以上的真空开口传导的阻抗。