一种面形检测装置与检测方法

摘要

本申请公开了一种面形检测装置与检测方法，面形检测装置包括激光光源组件、波前编码器、分光器件、透镜、阵列探测器以及控制模块。面形检测方法：将激光光源组件发出的光照射波前编码器，经波前编码器调制的出射光透过分光器件、透镜成像至待测区一表面，该表面反射的光经过透镜、分光器件进入阵列探测器；控制模块控制波前编码器以在待测区一表面上产生顺序移动的光斑；阵列探测器记录并保存对应每个采样点的光斑的图像，将接收到的光线转换为电信号；控制模块对电信号进行相应的处理并获得待测物体表面的倾斜角度。本发明实现高精度小范围和低精度大范围两种模式之间的切换；可测量二维物体，适合在线检测安装在同步辐射光束线上的光学元件。

主权项

一种面形检测装置，包括：激光光源组件，其提供准直的激光；波前编码器，其用于调制所述激光光源组件提供的激光，以产生光斑；分光器件，其透射从所述波前编码器出射的光线；透镜，其接收所述分光器件透射的光线，并将光线投射至待测区一表面，以在所述表面上形成所述光斑的图像，所述表面位于所述波前编码器的共轭面处或其附近的一表面；阵列探测器，所述待测区一表面反射的光线依次经过所述透镜、所述分光器件进入所述阵列探测器，所述阵列探测器将接收到的光线转换为电信号；以及控制模块，其控制所述波前编码器以在所述待测区一表面上形成顺序移动的光斑的图像。