一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法

摘要

本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。

主权项

一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法，其特征在于，该工艺方法包括下述步骤：1)以金属钒靶作为溅射源，在氩气条件下在洁净衬底上溅射100～300nm厚的金属钒膜，衬底温度保持在200℃；2)将一端敞口的管式退火炉进行升温，到500～570℃范围时进行保温，从炉管的非敞口端通入氮气，氮气流量保持在2L/min；3)将制备的金属钒膜放入石英坩埚中，之后将坩埚推入上述管式退火炉中进行退火，退火时间为5～10min，将坩埚拉出在空气下冷却，得到二氧化钒纳米颗粒膜。