一种应用于爆炸物传感检测的多孔硅制备工艺

摘要

本发明公开了一种应用于爆炸物传感检测的多孔硅制备工艺，将N型多孔硅进行电化学蚀刻和超声处理，用于探测爆炸物，根据制得的微米级和纳米级的光致发光多孔硅，进行爆炸物的传感探测，观察到了光致发光淬灭现象，纳米多孔硅的探测效果更高，与斯特恩‑沃尔默关系图吻合。

主权项

一种应用于爆炸物传感检测的多孔硅制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：1）电化学蚀刻和粉碎：在乙醇氢氟酸溶液中，将N型硅片进行阳极蚀刻，制得光致发光多孔硅，在特氟龙容器中进行双电极恒电流蚀刻，制备纳米级多孔硅时，采用高精度恒流电源提供175mA/cm²阳极氧化电流并持续300秒，刻蚀期间需要300w钨丝灯提供照明，制备纳米级多孔硅粒子时，采用高精度恒流电源提供150mA/cm²阳极氧化电流并持续10.908秒，或者400mA/cm²阳极氧化电流并持续0.363秒，分别进行30个循环，刻蚀期间需要300w钨丝灯提供照明；2）钝化处理：将步骤1）中制得的多孔硅样品至于真空舒伦克烧瓶中，用注射器加入1毫升正丁基锂并放置3小时，用注射器取走溶液，将烧瓶至于丙酮和干冰冰浴中冷却，加入3毫升三氯乙酸，然后将烧瓶至于室温下冷却。