用于预热真空泵装置的方法和设备

摘要

一种用于预热真空泵装置的方法，该真空泵装置具有增压泵和在该增压泵下游的前级泵，用于抽空处理室，所述方法包括：将增压泵设定在第一速度处，该第一速度高于增压泵在其处于空转模式时的空转速度；以及至少在从真空泵装置从空转模式被起动时到增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内，将增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。还要求保护一种能够执行该方法的设备。

主权项

一种用于预热真空泵装置的方法，所述真空泵装置具有增压泵和在所述增压泵下游的前级泵，用于抽空处理室，所述方法包括：将所述增压泵设定在第一速度处，所述第一速度高于所述增压泵在其处于空转模式时的空转速度；以及至少在从所述真空泵装置从所述空转模式被起动时到所述增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内，将所述增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。