具有高品质因数的Lamb波传感器

摘要

本案涉及一种具有高品质因数的Lamb波传感器，包括：衬底层，其具有薄膜层和腐蚀槽；薄膜层所对应的区域为传感区，薄膜层以外的衬底层上所对应的区域为非传感区；压电层，其设置在衬底层上的远离腐蚀槽的一侧；叉指电极，其设置在压电层表面，包括有输入端和输出端；反射栅，其设置在压电层表面，并位于非传感区内；其中，反射栅被设置在叉指电极的两侧，且位于Lamb波的运动路径上。本案通过在薄膜以外的区域添加反射栅结构，并设计反射栅和IDT的线条之间的间距，实现了Lamb波传感器品质因数的有效增益；在保证理想幅频和相频特性的基础上，达到Lamb波传感器品质因数增益的目的，从而有效降低传感器测试的检测限。

主权项

一种具有高品质因数的Lamb波传感器，其特征在于，包括：衬底层，其具有一个经刻蚀后形成的薄膜层，被刻蚀的区域形成一个腐蚀槽；薄膜层所对应的区域为传感区，薄膜层以外的衬底层上所对应的区域为非传感区；压电层，其设置在所述衬底层上的远离所述腐蚀槽的一侧；叉指电极，其设置在所述压电层表面，并位于所述传感区内；所述叉指电极包括有输入端和输出端；反射栅，其设置在所述压电层表面，并位于所述非传感区内；其中，所述反射栅被设置在所述叉指电极的两侧，且位于Lamb波的运动路径上。