一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器

摘要

本实用新型公开了一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器，包括声波反射层、检测元件FBAR、辐照敏感层以及读出电路；声波反射层包括柔性衬底、沉积在衬底上的声波阻挡层；检测元件FBAR包括底电极、压电层、顶电极，设置有辐照敏感层；所述顶电极采用具有耐伽马辐照性能好、高电导率、低密度的CNT柔性碳纤维材料，可使本实用新型比传统金属电极的传感器寿命更长，具有更高的测量灵敏度及柔性可弯曲；以柔性可弯曲材料作为柔性衬底制作的伽马辐照传感器能适应更加复杂的不平整表面条件，同时根据测量条件能够任意布置，扩大了本实用新型的应用范围；由于制备工艺简单，集成机械牢度强、结构尺寸更小，进一步降低了生产成本和开发周期。

主权项

一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器，其特征在于：包括声波反射层、检测元件FBAR以及读出电路；所述检测元件FBAR设置于声波反射层（1）上，检测元件FBAR穿过声波反射层（1）连接读出电路；所述声波反射层（1）包括柔性衬底和沉积在柔性衬底上的声波阻挡层；所述检测元件FBAR包括自下而上依次沉积的底电极（3）、压电层（4）、顶电极（6），所述检测元件FBAR中还设置有辐照敏感层（5），所述顶电极（6）采用碳纳米管材料。