使用准周期栅格的图像校正的方法及系统

摘要

本文描述一种方法，其用于使用点的图案(例如准周期栅格)调整样本的一或多个图像以校正几何失真及/或使所述一或多个图像适当地对准。

主权项

一种用于调整样本的一或多个图像以校正几何失真及/或使所述一或多个图像对准的方法，所述方法包括：使用一或多个摄像机在相对于样本的固定位置处获得所述样本的一或多个图像；使用所述相同的一或多个摄像机在用于(或将用于)获得所述样本的所述一或多个图像的所述相同固定位置中获得二维图形图案的一或多个图像，其中所述图形图案是包括界定一或多种类型的几何形状的顶点处的点的晶格，其中所述点晶格为非周期的(例如，准周期的)，且其中可确定所述经成像点的绝对(例如，预期)位置；及由计算装置的处理器使用所述二维图形图案的所述一或多个图像自动调整所述样本的所述一或多个图像以校正几何失真及/或使所述样本的所述一或多个图像对准。