| 发明名称 | 用于将涂层施加到基板的方法与设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于将涂层施加到基板(3)的设备，其包括：计量设备(5)，通过计量设备可以将涂覆流体(2)以射流施加到基板(3)；以及溶剂分配器(10)，其以使预定量的溶剂(14)配送到计量设备(5)的前端的此种方式偏心地布置并且朝向计量设备(5)的前端的侧面。本发明还涉及用于通过根据上述权利要求中任一项所述的设备将涂层施加到基板(3)的方法，其中，在施加涂覆流体(2)以前，以溶剂(14)与位于计量设备(5)的前端的涂覆流体(2)接触的此种方式使预定量的溶剂(14)与计量设备(5)的前端接触，并且，在等待时间以后，涂覆流体(2)随后通过计量设备(5)施加到基板(3)。 | ||
| 申请公布号 | CN106054535A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201610217781.9 | 申请日期 | 2016.04.08 |
| 申请人 | 苏斯微技术光刻有限公司 | 发明人 | 奥马尔·法赫尔 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 杨生平;王瑞朋 |
| 主权项 | 一种用于将涂层施加到基板(3)的设备，包括：计量设备(5)，通过所述计量设备能够将涂覆流体(2)以射流施加到所述基板(3)；以及溶剂分配器(10)，其朝向所述计量设备(5)的前端的侧面偏心地布置，使得能够将预定量的溶剂(14)配送到所述计量设备(5)的前端。 | ||
| 地址 | 德国加尔兴 | ||