臭氧水供给方法和臭氧水供给装置

摘要

提供一种臭氧水供给方法，其特征在于，边将原料超纯水供给至循环罐并将在使用点未被使用的返送臭氧水返送至该循环罐，边将该循环罐内的被溶解水以一定的供给量供给至臭氧溶解单元，在该臭氧溶解单元中使臭氧溶解于该被溶解水而得到臭氧溶解水，接着，将所得该臭氧溶解水供给至该使用点，向放电式的臭氧产生单元供给氮气的含量为0.01体积％以下的氧气作为原料氧气，接着，将所得该含臭氧气体供给至该臭氧溶解单元，调节供给至该循环罐的该原料超纯水的供给量，调节该臭氧溶解水中的溶存臭氧浓度。利用本发明，可以提供：使用放电式的臭氧产生单元时能够抑制硝酸在循环体系内的蓄积的臭氧水供给方法和用于实施该方法的臭氧水供给装置。

主权项

一种臭氧水供给方法，其特征在于，边将原料超纯水供给至循环罐并将在使用点未被使用的返送臭氧水返送至该循环罐，边将该循环罐内的被溶解水以一定的供给量供给至臭氧溶解单元，在该臭氧溶解单元中使臭氧溶解于该被溶解水而得到臭氧溶解水，接着，将所得该臭氧溶解水供给至该使用点，向放电式的臭氧产生单元供给氮气的含量为0.01体积％以下的氧气作为原料氧气，使臭氧气体产生，得到含臭氧气体，接着，将所得该含臭氧气体供给至该臭氧溶解单元，通过调节该循环罐内的该被溶解水的液面高度，从而调节供给至该循环罐的该原料超纯水的供给量，通过调节溶解于该被溶解水的臭氧的量，从而调节该臭氧溶解水中的溶存臭氧浓度。