环形微流体探头的制造

摘要

提供了一种制造微探头(100)的方法，所述方法包括：在包括两个层(11、12)的相同双层衬底(10、10a)上提供(S16)n个微流体探头布局(14)的集合，所述布局环形地分布在所述双层衬底上，并且其中所述布局中的每一个布局包括：第一层(110)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的一个(11)的一部分；以及第二层(120)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的另一个(12)的一部分；并且第二层包括由在所述第二层(120)的上表面(120u)上敞开的凹槽限定并且由所述第一层(110)的下表面(110l)的一部分闭合的至少一个微通道(123、124)；大致在所述双层衬底(10)的中心处机械加工(S20)出孔(16)，从而产生界定所述孔并且截断所述布局(14)的所述至少一个微通道中的每一个微通道的圆筒壁(18)，使得所述布局中的每一个布局的所述至少一个微通道(123、124)延伸直到在所述圆筒壁(18)处在所述凹槽的端部处形成的至少一个相应的孔口(121、122)；以及最后，分割(S30)所述n个布局的每一个布局以获得n个微流体探头(100)。还提供因此获得的MFP探头。

主权项

一种制造微流体探头(100)的方法，所述方法包括：在包括两个层(11、12)的相同双层衬底(10、10a)上提供(S16)n个微流体探头布局(14)的集合，所述布局环形地分布在所述双层衬底上，并且其中所述布局中的每一个包括：第一层(110)，第一层对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的一个(11)的一部分；以及第二层(120)，第二层对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的另一个(12)的一部分；并且第二层包括由在所述第二层(120)的上表面(120u)上敞开的凹槽限定并且由所述第一层(110)的下表面(110l)的一部分闭合的至少一个微通道(123、124)；大致在所述双层衬底(10)的中心处机械加工(S20)孔(16)，从而产生界定所述孔并且截断所述布局(14)的所述至少一个微通道中的每一个微通道的圆筒壁(18)，使得所述布局中的每一个的所述至少一个微通道(123、124)延伸直到在所述圆筒壁(18)处在所述凹槽的端部处形成的至少一个相应的孔口(121、122)；以及分割(S30)所述n个布局中的每一个布局以获得n个微流体探头(100)。