Semiconductor device including line patterns

摘要

본 발명의 반도체 소자는 제1 방향으로 연장되어 있고, 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 제1 이격 거리만큼 떨어져 배치된 복수개의 라인 패턴들을 포함하고, 상기 라인 패턴들은, 상기 제2 방향으로 상기 제1 이격 거리만큼 서로 떨어져 배치되고 제2 방향으로 최소 피쳐 사이즈(1F)의 제1 폭을 갖는 두 개의 서브 라인 패턴들로 이루어진 라인 패턴 세트와, 상기 라인 패턴 세트의 일측에 상기 제2 방향으로 상기 제1 이격 거리 만큼 떨어지고 상기 제2 방향으로 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖게 배치된 광폭 라인 패턴을 포함한다.