用于加工连续的多段柔性箔片的装置

摘要

描述了一种装置和方法，所述装置和方法使用圆柱形鼓类型的真空鼓，并允许在分离的多段或柔性基片材料上的薄膜上形成精确配准的高分辨率激光图案，所述柔性基片材料从展开筒处展开并且在加工后重绕在重绕筒上。在所述鼓的每一侧都设置有长度补偿器单元以调节因鼓以及展开筒和重绕筒的差动旋转而导致的基片长度变化。

主权项

一种用于在分离的确定长度内加工长的连续的多段柔性箔状基片以在所述基片上形成具有高水平位置精度的高分辨率的二维图案的装置，所述装置包括：a.圆柱形鼓，所述圆柱形鼓被安装成能围绕平行于第一方向的轴旋转，且在所述鼓的表面的一个或多个区域上是多孔的或具有一排孔，从而能通过所述多孔的区域或所述孔施加真空以将确定长度的所述柔性基片保持在所述鼓表面的一部分上；b.电动机系统，所述电动机系统用于使所述鼓围绕所述轴沿一个或两个方向旋转；c.邻接所述鼓安装的激光加工单元，所述激光加工单元用于加工保持在所述鼓的表面上的所述长度的基片；d.机械装置，所述机械装置用于在所述基片的表面上方沿所述第一方向精确移动所述激光加工单元；e.位于所述鼓的一侧的第一卷筒单元，所述第一卷筒单元用于沿垂直于所述第一方向的第二方向周期性地将确定长度的未处理的柔性基片从第一筒分配到所述鼓上，以用于在所述鼓上进行加工；f.位于所述第一筒和所述鼓之间的第一基片长度补偿器单元，所述第一基片长度补偿器单元用于调节因所述第一筒和所述鼓的差动行程而导致的基片长度的变化；g.位于所述鼓的另一侧的第二卷筒单元，所述第二卷筒单元用于在加工后沿所述第二方向周期性将确定长度的所述柔性基片重绕到第二筒上；h.位于所述鼓和所述第二筒之间的第二基片长度补偿器单元，所述第二基片长度补偿器单元用于调节因所述鼓和所述第二筒的差动行程而导致的基片长度的变化；以及i.控制系统，所述控制系统被设置成控制：i.将真空周期性施加到所述鼓表面以将确定长度的基片保持在所述鼓表面的一部分上；ii.所述激光加工单元的操作；iii.所述激光加工单元沿着所述鼓的长度沿所述第一方向的移动；iv.所述鼓在完整的旋转周期的一部分期间沿一个或两个方向的旋转；以及v.所述真空从所述鼓表面的周期性释放，以及所述第一筒和所述第二筒的操作以重绕包含已加工区域的某一长度的基片并从所述第一筒展开另一确定长度的未加工基片，其中，所述装置被构造为使得真空能选择性地施加到所述鼓表面的不同方位角区域，使得真空能在随着鼓的旋转而变化的被选择的方位角范围内通过所述鼓表面中的所有孔或微孔施加到基片，从而使得真空被施加到所述确定长度的基片的整个长度，并且在所述整个长度的激光加工期间不施加到基片的其他部分，其中，基片的被加工区域的长度必须等于或小于基片的与鼓表面相接触的长度的一半，使得被加工区域的任何部分在该整个长度的激光加工期间的任何时候都不会从鼓表面抬起和失去位置对准。