用于自动校正像散的方法

摘要

该方法用于透镜系统的自动像散校正。在透镜组的第一消像散器设置下，提供未被聚焦的第一图像(96)。计算装置计算相应的第一傅立叶光谱图像(312)。通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)，确定傅立叶光谱图像(128，130，312)的像素的分布和方向。将第一矢量(132)与第二矢量(134)相比较。将透镜系统从第一消像散器设置改变为第二消像散器设置以提供第二图像(98)。计算相应的傅立叶光谱图像(314)。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向。将第三矢量与第四矢量相比较。选择具有最低的矢量比率的图像。

主权项

一种用于透镜系统的自动像散校正的方法，包括：在透镜的第一消像散器设置下提供未被聚焦的第一图像(96)，基于第一图像(96)，计算装置计算第一傅立叶光谱图像(312)，通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)来确定图像(128，312)的像素的分布和方向，将第一矢量(132)与第二矢量(134)进行比较，将透镜从第一消像散器设置改变到第二消像散器设置，以提供未被聚焦的第二图像(98)，基于第二图像(98)，计算装置计算第二傅立叶光谱图像(314)，通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向，将第三矢量与第四矢量进行比较，当与第三矢量相对于第四矢量相比第一矢量更类似于第二矢量时，选择第一图像(96)，以及当与第一矢量相对于第二矢量相比第三矢量更类似于第四矢量时，选择第二图像(98)。