发明名称 形成导体层的方法及使用导电层制备多层布线基板的方法
摘要 本发明涉及用于形成导体层的方法,其中,在对聚酰亚胺膜的聚酰亚胺层(a)的表面进行聚酰亚胺蚀刻处理以去除聚酰亚胺层(a)——其中所述聚酰亚胺层(a)设置在聚酰亚胺层(b)的一个或两个表面上——的至少一部分之后,在所述表面上形成导体层。所述用于形成导体层的方法的特征在于,使用由所示式定义的t(min)表示的聚酰亚胺蚀刻处理时间T(min)在0.2t≤T≤5t的范围内。<img file="DDA0001109629110000011.GIF" wi="1406" he="171" />
申请公布号 CN106062895A 申请公布日期 2016.10.26
申请号 CN201580012080.5 申请日期 2015.01.21
申请人 宇部兴产株式会社 发明人 三浦彻;番场啓太;幸田政文;横沢伊裕
分类号 H01B13/00(2006.01)I;B32B15/088(2006.01)I;H05K1/03(2006.01)I;H05K3/38(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I 主分类号 H01B13/00(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 彭雪瑞;臧建明
主权项 一种用于形成导体层的方法,所述方法包括以下步骤:将形成有聚酰亚胺层(a)的聚酰亚胺膜的表面进行聚酰亚胺蚀刻处理,以去除聚酰亚胺层(a)的至少一部分,其中所述聚酰亚胺膜具有在聚酰亚胺层(b)的一个表面或两个表面上形成的所述聚酰亚胺层(a);然后在所述表面上形成导体层,其中使用由下面描述的公式定义的t(min)表示聚酰亚胺蚀刻处理时间T(min),所述聚酰亚胺蚀刻处理时间在0.2t≤T≤5t的范围内。<img file="FDA0001109629090000011.GIF" wi="1408" he="173" />
地址 日本山口县宇部市