一种二次耦合微波等离子体重整装置

摘要

本发明公开了一种二次耦合微波等离子体重整装置，包括：腔体，其为圆柱形腔体；环形波导，其环绕在腔体中心位置，用于将腔体分隔为位于中心位置的圆柱谐振腔和外部的环形反应腔，环形波导上设置有多个圆周方向对称均匀分布的耦合窗；微波等离子体反应管，其设置在环形反应腔中心处，微波等离子体反应管内通有混合燃气；耦合装置，其为四分之一波长谐振腔耦合装置，设置在谐振腔内部；点火电极，其包括两根金属丝，连接高压电源，设置在微波等离子气体反应管的进气端口处，其中，微波能量能够通过所述耦合装置进入所述圆柱谐振腔内，再通过所述耦合窗耦合进入所述环形反应腔内，多端口同时耦合，耦合效率高，微波能量在反应腔内分布更均匀。

主权项

一种二次耦合微波等离子体重整装置，其特征在于，包括：腔体，其为圆柱形腔体；环形波导，其环绕在所述腔体中心位置，用于将所述腔体分隔为位于中心位置的圆柱谐振腔和外部的环形反应腔，所述环形波导上设置有多个圆周方向对称均匀分布的耦合窗；微波等离子体反应管，其设置在所述环形反应腔中心处，所述微波等离子体反应管内通有混合燃气；耦合装置，其为四分之一波长谐振腔耦合装置，设置在所述谐振腔内部；点火电极，其包括两根金属丝，连接高压电源，设置在所述微波等离子气体反应管的进气端口处，用于在等离子体反应管内产生形成等离子体所需的初始电荷；其中，微波能量能够通过所述耦合装置进入所述圆柱谐振腔内，再通过所述耦合窗耦合进入所述环形反应腔内。