| 摘要 |
【課題】薄膜形成の速度を向上させつつ、ターゲットの有用寿命を延ばすことができ、さらに、ターゲットの着脱作業を容易に行うことができるスパッタリングターゲットを提供することを課題とする。【解決手段】円板状に形成された本体部１１と、前記本体部１１の中心部に設けられて、本体部１１の厚さ方向に貫通する貫通孔１２と、前記本体部１１の上面に形成された環状隆起部１３と、を備えることを特徴とする。このように、環状隆起部１３を設けることで、ターゲット１０の有用寿命を延伸させることができ、さらに、本体部１１に貫通孔１２を設けたことにより、ターゲット１０の製造性と交換作業の容易性を向上させることができる。【選択図】図１ |
