真空泵送系统

摘要

本发明涉及一种用于排空真空腔（12）的真空泵送系统（10），该系统包括：真空泵（16）；以及用于将气体输送到真空泵的多个前级管线（22,24），其中，在腔排空的第一低真空阶段，第一前级管线装置（22）可以被连接，用于将气体输送到真空泵，并且在腔排空的第二较高真空阶段，包括所述前级管线中的一个或多个前级管线的第二前级管线装置（22,24）可以被连接，用于将气体输送到真空泵，其中，第二前级管线装置的用于输送流体的总体横截面积大于第一前级管线装置的总体横截面积。

主权项

一种用于排空真空腔的真空泵送系统，所述真空泵送系统包括：真空泵；以及连接到真空泵用于将气体输送到所述真空泵的多个前级管线，其中，在真空腔排空的第一低真空阶段，第一前级管线装置将气体输送到所述真空泵，并且在真空腔排空的第二较高真空阶段，包括所述前级管线中的一个或更多前级管线的第二前级管线装置将气体输送到所述真空泵，其中，所述第二前级管线装置的用于输送气体的总体横截面积大于所述第一前级管线装置的总体横截面积，从而使得所述第一前级管线装置与所述第二前级管线装置相比具有较小的体积并且所述第二前级管线装置与所述第一前级管线装置相比具有较高的传导性。