一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法

摘要

本发明提供一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，所述方法包括：在衬底基板上形成有机发光二极管、第一防水层、含氟聚合物层、光阻层；对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层。本发明的柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，有效地增强光的散射效果，提高了出光率。

主权项

一种柔性有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成有机发光二极管；在所述有机发光二极管上形成第一防水层；在所述第一防水层上形成含氟聚合物层；在所述含氟聚合物层上形成光阻层，对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部，相邻两个所述光阻部靠近所述第一防水层之间的间隙大于其远离所述第一防水层之间的间隙；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部，其中所述聚合部与所述光阻部的位置相对应；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层；其中，所述缓冲层的材料为有机材料，所述第一防水层、所述第二防水层以及所述出光增强层的材料为无机材料。