| 发明名称 | 含有机金属化合物的气体的供给装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够长时间稳定地供给含有机金属化合物的气体的有机金属化合物的供给装置。含有机金属化合物的气体的供给装置(1)具备容器(10)、供给部(13)和高比重物。容器(10)具有内部空间(10a)、载气的导入口(10b)和排出口(10c)。导入口(10b)连接于内部空间(10a)的下部。排出口(10c)连接于内部空间(10a)的上部。供给部(13)位于内部空间(10a)。供给部(13)中配置有含有机金属化合物的颗粒与填充材料的混合物。高比重物在内部空间(10a)中配置于供给部(13)之上。高比重物的比重比含有机金属化合物的颗粒的比重高。 | ||
| 申请公布号 | CN106062244A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201480076925.2 | 申请日期 | 2014.12.25 |
| 申请人 | 宇部兴产株式会社 | 发明人 | 白井昌志;长谷川千寻;竹林浩二;吉富晋 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳;程采 |
| 主权项 | 一种含有机金属化合物的气体的供给装置，供给包含常温下为固体的有机金属化合物的气体，其特征在于，包括：容器，其具有内部空间、连接于所述内部空间的下部的载气的导入口和连接于所述内部空间的上部的排出口；供给部，其位于所述内部空间，配置有含有机金属化合物的颗粒与填充材料的混合物；和高比重物，其在所述内部空间中配置在所述供给部之上，比重比所述含有机金属化合物的颗粒的比重高。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||