| 摘要 |
본 발명은 광선에 감광 특성을 가지는 유리를 3차원 미세 구조물 그리고 일정한 반복 패턴을 형성하기 위한 방법과 그 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 감광성 유리를 제공하는 단계; 광선 조사 장치를 이용하여 감광성 유리의 원하는 부위만 선택적으로 조사하는 단계; 선택적으로 조사하는 단계에 있어 본 발명에서 제공하는 장치와 방법에 의해 미리 입력된 프로그램에 따라 광선 세기와 형태, 노출 시간, 위치, 각도를 제어하는 단계; 및 상기 3차원적으로 광선 조사된 감광성 유리를 열처리 한 후 불산 희석액 이나 무기산 또는 불산과 무기산의 혼합 희석액으로 식각하는 단계를 수행하여 미세 구조물 및 미세 패턴을 얻는 방법에 관한 것이다. |
