一种高转化率的纳米太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高转化率的纳米太阳能电池及其制备方法，包括衬底、多晶硅薄膜，衬底与多晶硅薄膜之间设有钝化层，钝化层表面设有氧化硅薄膜，氧化硅薄膜与多晶硅薄膜之间设有上电极；上电极与多晶硅薄膜之间设有P型硅基体，多晶硅薄膜上设有P‑n结，衬底设置在背面AI电极上。本发明通过设置钝化层，在钝化层上设置氧化硅薄膜，这种氧化硅薄膜可以释放在高电势下氮化硅薄膜中储存的正电荷，从而具有抗高电势下衰减的作用，并且提高太阳能电池的光电转换效率。

主权项

一种高转化率的纳米太阳能电池，其特征在于，包括衬底（2）、多晶硅薄膜（6），衬底（2）与多晶硅薄膜（6）之间设有钝化层（3），钝化层（3）表面设有氧化硅薄膜（4），氧化硅薄膜（4）与多晶硅薄膜（6）之间设有上电极（3）；上电极（3）与多晶硅薄膜（6）之间设有P型硅基体，多晶硅薄膜（6）上设有P‑n结，衬底（2）设置在背面AI电极（1）上。