借助过程气体循环以多重等离子体进行等离子体处理的设备

摘要

根据本发明的用于等离子体处理的设备包括处理室以及具有循环线路和循环泵的循环单元，处理室具有至少两个被过程气体穿流的等离子体处理区、气体输入部和气体输出部，气体输入部适用于将过程气体输送给至少两个等离子体处理区，气体输出部适用于将废气从处理室排除，其中，循环单元适用于将废气中至少一部分供应到气体输入部中，并且其中，供应到气体输入部中的废气是从等离子体处理区中的至少两个中逸出的气体的混合物。通过混合来自等离子体处理区中的至少两个中的废气并且将废气重新供应到气体输入部中，使来自等离子体处理区中的至少两个中的过程气体的已经转化的组成部分、但也有未转化的组成部分混合，并且因此实现了输送给等离子体处理区的过程气体的均匀化。这减少了由于等离子过程在不同的等离子体处理区中的差异而产生的各个基底之间的等离子体处理的非均匀性。

主权项

一种用于等离子体处理的设备，所述用于等离子体处理的设备包括：‑处理室，所述处理室具有：‑被过程气体穿流过的至少两个等离子体处理区，‑气体输入部，所述气体输入部适用于将所述过程气体输送给所述至少两个等离子体处理区，和‑气体输出部，所述气体输出部适用于将废气从所述处理室中排除，以及‑循环单元，所述循环单元具有循环线路和循环泵，其中，所述循环单元适用于将所述废气中的至少一部分供应到所述气体输入部中，‑其中，供应到气体输入部中的废气是从所述至少两个等离子体处理区中逸出的气体的混合物。