石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器

摘要

本发明提出一种石墨烯材料传声器振膜及制作该振膜的方法，包括具有突起结构的金属镍环，以及与该金属镍环的具有突起结构的一面结合为一体的石墨烯薄膜，其中突起结构突出石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜，进一步提出一种包括该石墨烯材料振膜的电容传声器，本发明的石墨烯材料振膜结构牢固，并使具有该石墨烯振膜的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性均得到较大提升。

主权项

一种石墨烯材料传声器振膜，包括具有突起结构的金属镍环，以及与该金属镍环的具有突起结构的一面结合为一体的石墨烯薄膜，其中突起结构突出石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜。