| 发明名称 |
V - - GROUP V-CONTAINING FILM FORMING COMPOSITIONS AND VAPOR DEPOSITION OF NIOBIUM-CONTAINING FILMS |
| 摘要 |
V 족-함유 필름 형성 조성물이 개시되며, 또한 이를 합성하는 방법, 및 V 족-함유 필름 형성 조성물을 사용하여 증착 공정을 통해 하나 이상의 기판 상에 V 족-함유 필름을 형성시키는 방법이 개시된다. |
| 申请公布号 |
KR20160124025(A) |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
| 申请号 |
KR20160046482 |
申请日期 |
2016.04.15 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
LANSALOT MATRAS CLEMENT;NOH, WON TAE |
| 分类号 |
C09D7/12;C07F9/00;C09D5/02;C23C16/34;C23C16/40 |
主分类号 |
C09D7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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