发明名称 ARRANGEMENT AND METHOD FOR MEASURING AND CONTROLLING THE HEATING TEMPERATURE IN A SEMICONDUCTOR GAS SENSOR
摘要 본 발명은 발열 저항기의 온도를 표현한 물리적 양을 측정하는 측정 디바이스 및 발열 저항기의 전력 공급을 제어하는 작동 유닛의 자동 제어 시스템으로서 발열 저항기로 이루어진, 제어 루프를 포함한 반도체 가스 센서에서의 가열 온도를 제어하기 위한 장치, 및 장치를 이용하는 방법에 관한 것이다. 높은 전기 효율을 가진 발열 저항기의 간단한 제어 회로를 표시하는 문제점은 작동 유닛이, 발열 저항기가 동작 전압에 연결되는 제 1 펄스 지속 기간 및 발열 저항기가 동작 전압으로부터 분리되는 제 2 펄스 지속 기간을 가진 펄스화 전압 소스로 이루어지며, 제 1 및/또는 제 2 펄스 지속 기간이 교정 변수로서 제어될 수 있고, 제 2 펄스 지속 기간 동안 발열 저항기에 측정 전류를 인가하는 정전류 소스 및 발열 저항기에 걸친 측정 전압 강하를 측정하는 측정 디바이스가 제공되고 있으며, 그 출력은 제어 루프에서 제어된 가변 피드백으로서 설계된다는 점에서 해결된다.
申请公布号 KR20160124033(A) 申请公布日期 2016.10.26
申请号 KR20160047181 申请日期 2016.04.18
申请人 ZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN AG 发明人 GEORGI MICHAEL;SCHREIBER RONALD
分类号 G01N27/414;G01N21/78 主分类号 G01N27/414
代理机构 代理人
主权项
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