| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Gehäuse (12), das einen Pumpenraum (14) für ein zu pumpendes Gas einschließt, in dem mehrere hintereinander geschaltete Pumpstufen (16a, 16b) angeordnet sind, wobei die Pumpstufen (16a, 16b) jeweils einen Einlass (18) mit einem innerhalb des Gehäuses (12) gelegenen Einlassbereich (20) aufweisen. Es ist mindestens ein Umlenkmittel (30, 34, 38, 40, 42) vorgesehen, das einen von einer vorgeschalteten Pumpstufe (16a) ausgehenden Strömungspfad (15) für das zu pumpende Gas bereitstellt, der von dem Einlassbereich (20) einer nachgeschalteten Pumpstufe (16b) wegführt. |
