Thermoelectric device and method of fabricating the same

摘要

열전 소자의 제조 방법이 제공된다. 상기 열전 소자의 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계 및 상기 기판 상에 아연 산화물을 포함하는 제1 물질막(first material layer), 및 알루미늄 산화물을 포함하는 제2 물질막(second material layer)을 형성하는 공정을 복수회 수행하여 적층 구조체(stacked structure)를 제조하는 단계를 포함하되, 상기 제2 물질막의 두께를 조절하여, 상기 적층 구조체의 power factor 값을 조절하는 것을 포함한다.