| 摘要 |
Vakuumkammer (100), aufweisend: • mindestens einen ersten Prozessierbereich (101p) und mindestens einen zweiten Prozessierbereich (103p); • eine zwischen dem ersten Prozessierbereich (101p) und dem zweiten Prozessierbereich (103p) angeordnete Gasseparationskammer (304); • eine Transportvorrichtung zum Transportieren eines zu prozessierenden Substrats (220) entlang einer Transportebene (101e) in einer Transportrichtung (101t) zumindest von dem ersten Prozessierbereich (101p) durch die Gasseparationskammer (304) hindurch in den zweiten Prozessierbereich (103p); • eine in der Gasseparationskammer (304) angeordnete Gasseparationsstruktur (104), welche ein sich parallel zur Transportebene (101e) erstreckendes erstes plattenförmiges Element (404p) und ein sich quer zur Transportrichtung (101t) erstreckendes zweites plattenförmiges Element (404v) aufweist, wobei die Gasseparationsstruktur (104) mittels des ersten plattenförmigen Elements (404p) einen Gasseparationsspalt (104g) zwischen der Gasseparationsstruktur (104) und dem mittels der Transportvorrichtung transportierten zu prozessierenden Substrat (220) derart bildet, dass eine Ausbreitung von Gasteilchen von einem der beiden Prozessierbereiche (101p, 103p) durch den Gasseparationsspalt (104g) hindurch in den anderen der beiden Prozessierbereiche (101p, 103p) gehemmt wird, und wobei die Gasseparationsstruktur (104) mittels des zweiten plattenförmigen Elements (404v) einen Bereich der Gasseparationskammer (304) oberhalb des Gasseparationsspalts (104g) in zwei Abpumpbereiche (508p, 510p) separiert; • eine in der Gasseparationskammer (304) angeordnete Gaszuführung (104z) zum Einleiten eines Inertgases (114) in den Gasseparationsspalt (104g); und • eine mit der Gasseparationskammer (304) gekuppelte Pumpenanordnung (520), welche auf die zwei Abpumpbereiche (508p, 510p) zugreift, wobei die Gasseparationsstruktur (104) derart eingerichtet ist, dass ein Pumpzugriff durch die zwei Abpumpbereiche (508p, 510p) hindurch in den Gasseparationsspalt (104g) hinein erfolgt zum Abpumpen des eingeleiteten Inertgases aus dem Gasseparationsspalt (104g). |
