适用于等离子体处理室的真空密封装置

摘要

一种真空密封装置，其包括：一体成型的弹性垫圈，其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环；第一部件，其具有第一平坦密封表面，所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽，所述第一部件还包括由所述第一O形环或所述第二O形环包围的在所述第一平坦密封表面中的至少一个通道。

主权项

一种真空密封装置，其包括：一体成型的弹性垫圈，其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环；第一部件，其具有第一平坦密封表面，所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽，其中所述第一和第二O形环是同心的，并且所述方壁形槽相对于所述第一平坦密封表面径向朝向所述鸽尾形槽的里面，所述第一部件还包括由所述第一O形环或所述第二O形环围绕的在所述第一平坦密封表面中的至少一个通道，其中所述通道朝所述方壁形槽内打开；以及连接到所述第一部件的第二部件；其中所述第二部件具有在第二平坦密封表面中的通道，在第二平坦密封表面中的所述通道与所述第一平坦密封表面中的所述通道对齐并与所述第一平坦密封表面中的所述通道流体连通；以及第三部件，其具有靠着所述第一O形环夹紧的第三平坦密封表面，其中所述第三部件围绕所述第二部件。