用于声谐振器设备的衬底和声谐振器设备

摘要

本实用新型涉及一种声谐振器设备。本实用新型公开了一种声谐振器设备，所述声谐振器设备设有衬底，该衬底包括：衬底部件，包括被配置成形成阵列结构的多个支撑部件，所述衬底部件具有上部区域；被形成为覆盖所述上部区域的一厚度的单晶压电材料，所述厚度的单晶压电材料具有第一表面区域和与所述第一表面区域相对的第二表面区域；所述厚度的单晶压电材料的所述第二表面区域的多个暴露区域，每个所述暴露区域由至少一对支撑部件配置并被配置成形成所述阵列结构的元件。

主权项

一种声谐振器设备，所述声谐振器设备设有衬底，其特征在于，所述衬底包括：衬底部件，所述衬底部件包括被配置成形成阵列结构的多个支撑部件，所述衬底部件具有上部区域；被形成为覆盖所述上部区域的一厚度的单晶压电材料，所述厚度的单晶压电材料具有第一表面区域和与所述第一表面区域相对的第二表面区域；所述厚度的单晶压电材料的所述第二表面区域的多个暴露区域，每个所述暴露区域由至少一对支撑部件配置并被配置成形成所述阵列结构的元件。