准分子激光器的可见光引导装置

摘要

本实用新型公开了一种准分子激光器的可见光引导装置，所述准分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路转置单元，PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输，使种子光进入PA腔进行放大，同时透射来自PA腔的输出激光。所述可见光引导装置包括可见光激光器和可见光光路转置单元，其中，所述可见光激光器用于产生可见光波段的激光，所述可见光光路转置单元用于将所述可见光激光器产生的可见光波段的激光引导至与所述来自PA腔的激光共轴输出。本实用新型能基于可见光光路为参考，完成后续光学组件与准分子激光器之间的有效对准，提高对准精度及有效避免对操作人员危害大等不利影响。

主权项

一种准分子激光器的可见光引导装置，所述准分子激光器包含MO腔、PA腔、线宽压窄单元、输出耦合镜和PA腔光路转置单元，PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输，使种子光进入PA腔进行放大，同时透射来自PA腔的输出激光，其特征在于，所述可见光引导装置包括可见光激光器和可见光光路转置单元，其中，所述可见光激光器用于产生可见光波段的激光；所述可见光光路转置单元用于将所述可见光激光器产生的可见光波段的激光引导至与所述准分子激光共轴输出。