发明名称 二酸化炭素供給システム、抽出システム、およびリソグラフィ装置
摘要 An extraction system, including a pump to pump gas along a conduit to a check valve configured to open at an upstream pressure over a certain magnitude, a pressure sensor to generate a signal indicative of a pressure of gas between the pump and the check valve, and a controller configured to generate a stop signal if a signal from the pressure sensor indicates that the pressure of gas between the pump and the check valve is below a certain magnitude.
申请公布号 JP6010445(B2) 申请公布日期 2016.10.19
申请号 JP20120271675 申请日期 2012.12.12
申请人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 发明人 ヴァン デル ガーグ,マルク レオン;ファン デン ヒューヴェル,レオナルダ,ヘンドリカ;マーテンズ,アルヤン,ヒューブレヒト,ヨセフ,アンナ;ヴァン ボクステル,フランク,ヨハネス,ヤコブス
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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