发明名称 組成物
摘要 PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel composition capable of being used as an etching paste.SOLUTION: A composition contains: at least one etching composition selected from among a trifluoromethanesulfonic acid, a trifluoromethanesulfonate, and a trifluoromethanesulfonic acid ester; and a substance melting the etching composition at a temperature of 100-250°C.
申请公布号 JP6011234(B2) 申请公布日期 2016.10.19
申请号 JP20120229275 申请日期 2012.10.16
申请人 日立化成株式会社 发明人 納堂 高明;中子 偉夫;神代 恭;稲田 麻希;黒田 杏子
分类号 H01L21/308;H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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