卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置及其使用方法

摘要

本发明提出了一种卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置及使用此装置的方法。该测量装置包括：粒子枪、电子检测仪、法拉第杯、真空罐、转台和控制台，其中粒子枪用来输出测量过程中所需要的粒子束流，包括电子或离子；真空罐为测试提供真空腔体空间；转台安装于真空罐的底部，用来为待测材料样品和电子检测仪和粒子束流提供适当的配合位置；电子检测仪用来测量待测材料表面的二次电子的发射强度；法拉第杯用来测量入射粒子的强度；控制台用来对法拉第杯、电子检测仪进行数据采集，并控制待测材料样品的电位。

主权项

一种卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置，包括：粒子枪、电子检测仪、法拉第杯、真空罐、转台和控制台，其中粒子枪用来输出测量过程中所需要的粒子束流，包括电子或离子；真空罐为测试提供真空腔体空间；转台安装于真空罐的底部，用来为待测材料样品和电子检测仪和粒子束流提供适当的配合位置；电子检测仪用来测量待测材料表面的二次电子的发射强度；法拉第杯用来测量入射粒子的强度；控制台用来对法拉第杯、电子检测仪进行数据采集，并控制待测材料样品的电位。