| 摘要 |
비교적 좁은 폭 및 비교적 조밀한 피치를 가지는 고밀도 라인 패턴을 형성할 수 있는 배치 구조를 가지는 반도체 소자를 제공한다. 본 발명에 따른 반도체 소자는 서로 이격된 복수의 라인 패턴을 포함하고, 복수의 라인 패턴은 각각 제1 간격을 가지며 제1 방향으로 연장되는 복수의 메인 라인과, 복수의 메인 라인 각각의 일단으로부터 굴절되어 연장되는 복수의 서브라인을 포함하고, 복수의 서브 라인 각각의 끝단들은 서로 제1 간격보다 큰 간격을 가지며, 대응하는 복수의 메인 라인 각각의 일단으로부터 제1 방향을 따라서 연장되는 연장선과 이격될 수 있다. |
