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发明名称 THE METHOD OF SPUTTERING
摘要 본 발명에 따른 스퍼터링 방법의 일 실시예는, 배선 영역에 대응하는 제 1 개구부가 형성된 제 1 마스크와 제 2 개구부가 형성된 제 2 마스크를 베이스 기판 상에 차례로 배치한 후 스퍼터링을 실시하고, 제 2 마스크와 제 1 마스크를 차례로 제거하여 배선을 형성하는 스퍼터링 방법을 제공한다.
申请公布号 KR20160120906(A) 申请公布日期 2016.10.19
申请号 KR20150050075 申请日期 2015.04.09
申请人 INTERFLEX CO., LTD. 发明人 MUN, NAM HUN;HA, JUNG HUN;NAM, DAE WOO;KEUM, JIN
分类号 H05K3/16;H05K3/14 主分类号 H05K3/16
代理机构 代理人
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