用于真空环境的防金属蒸汽观察装置

摘要

本发明为一种用于真空环境的防金属蒸汽观察装置，该装置包括有一真空腔室，所述真空腔室的一侧壁上设置有透明窗口，所述透明窗口位于真空腔室内部一侧设置有透明防护装置；所述透明防护装置包括有位于所述透明窗口一端的主动转轴，所述主动转轴连接有驱动电机，所述驱动电机与设置于所述真空腔室外部的电机控制系统电连接，与所述主动转轴相对的所述透明窗口的另一端设置有从动转轴，所述从动转轴上套设有卷式透明薄膜，所述卷式透明薄膜的抽动端固定于所述主动转轴上，所述卷式透明薄膜的展开部紧邻所述透明窗口内侧并覆盖通过所述透明窗口。该装置能够实现长时间的连续实时观察真空环境下电子束加工金属的过程，工作效率高，成本投入低。

主权项

一种用于真空环境的防金属蒸汽观察装置；包括有一真空腔室，所述真空腔室的一侧壁上设置有透明窗口，其特征在于：所述透明窗口位于真空腔室内部一侧设置有透明防护装置；所述透明防护装置包括有位于所述透明窗口一端的主动转轴，所述主动转轴连接有驱动电机，所述驱动电机与设置于所述真空腔室外部的电机控制系统电连接，与所述主动转轴相对的所述透明窗口的另一端设置有从动转轴，所述从动转轴上套设有卷式透明薄膜，所述卷式透明薄膜的抽动端固定于所述主动转轴上，所述卷式透明薄膜的展开部紧邻所述透明窗口内侧并覆盖通过所述透明窗口。