| 摘要 |
【課題】上下方向に配置された複数のチャンバを有する多段枚葉式基板処理装置において、様々な大きさまたは様々な形状の基板を処理する場合でも、液体が下側のチャンバに落下してしまうことを防止できるようにする。【解決手段】１枚の基板１００を水平状態でステージ１１に支持して回転させる基板回転装置１０と、上下方向へ複数段に配置された複数のチャンバ２１〜２３とを備えた多段枚葉式基板処理装置において、ステージ１１の下方に円盤１４を備えることにより、基板１００から落下した液体がその下側にある円盤１４で受け止められるようにして、下側のチャンバに液体が落下してしまうことを防止できるようにする。【選択図】図３ |
