检测非球面的相位测量偏折方法

摘要

本发明涉及一种检测非球面的相位测量偏折方法，该方法基于朗奇检测的几何原理对改进的非球面相位测量偏折检测方法进行逆向光路分析，获得待测镜面相对于其理想面形的偏差梯度，积分这些梯度恢复待测镜面偏差，进而重建待测面形，从而实现对非球面进行非接触的全场检测。该方法避免了现有相位测量偏折术或朗奇检测中需通过移动显示屏、标定或近似来得到入射光线，给非球面的检测带来较大的方便。

主权项

一种检测非球面的相位测量偏折方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）建立检测光路：待测镜面的镜面正对液晶显示屏，即待测镜面顶点与液晶显示屏中心的连线垂直于液晶显示屏面，半透半反镜倾斜置于待测镜面和液晶显示屏之间，从液晶显示屏发出的光经过半透半反镜照亮整个待测镜面，经待测镜面反射的光再次被半透半反镜反射，最终由相机接收，信号经相机送入计算机；2）将液晶显示屏、待测镜面和相机坐标统一在一个坐标系下，建立的笛卡尔坐标系，计算机编译直正弦条纹送液晶显示屏显示；3）相机采集经过待测镜面反射的直正弦条纹，送计算机中分析；4）计算机分析获得待测镜面相对其理想面形的偏差梯度，再对偏差梯度进行积分，恢复待测镜面的偏差，最后利用此偏差和理想面形之间的关系重建待测镜面的三维面形。